日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。
■ 样品台可搭载超大/超重样品
· 通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品
· 选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率
· 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*
· 红外CCD探测器,提高了样品台移动的安全性
■ 支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
· 与GUI联合,可配备样品仓室导航相机
· 覆盖整个可观察区域
· 支持360度旋转
■ 一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI
■ 各种自动化功能
· 自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自动聚焦精度
· 搭载Intelligent Filament Technology(IFT)
■ Multi Zigzag,可实现多区域的大视野观察
■ Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告
■ 可满足多种观察需求的探测器
· 搭载高灵敏度UVD*,支持CL观察
· 高灵敏度半导体式背散射电子探测器,切换成分/凹凸等多种图像
■ 配备了多功能超大样品仓,可以搭载多种配件
■ SEM/EDS一体化功能*
■ 三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*
■ 支持图像测量软件Image pro
ITEM |
SU3800 |
SU3900 |
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二级电子分解能 |
3.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式) |
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15.0nm(加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式) |
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背散射电子分解能 |
4.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式) |
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倍率 |
×5~×300,000(照片倍率*1) |
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×7~×800,000(实际显示倍率*2) |
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加速电压 |
0.3kV~30kV |
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低真空度设定 |
6~650 Pa |
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图像位移 |
±50µm(WD=10mm) |
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最大样品尺寸 |
200mm直径 |
300mm直径 |
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样品台 |
X |
0~100mm |
0~150mm |
Y |
0~50mm |
0~150mm |
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Z |
5~65mm |
5~85mm |
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R |
360°连续 |
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T |
-20°~+90° |
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最大可观察范围 |
130mm直径(R并用) |
200mm直径(R并用) |
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最大可观察高度 |
80mm(WD=10mm) |
130mm(WD=10mm) |
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电机驱动 |
5轴电机驱动 |
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电子光学系统 |
电子枪 |
中心操控式钨丝发射 |
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物像镜头光圈 |
4孔可动光圈 |
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检测系统 |
二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 |
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EDX分析WD |
WD=10mm(T.O.A=35°) |
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图像显示 |
自动光轴调整功能 |
自动光束调整(AFS→ABA→AFC→ABCC) |
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自动光轴调整(实时级别对齐) |
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自动调整光束亮度 |
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自动图像调整功能 |
自动亮度和对比度控制(ABCC) |
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自动对焦控制(AFC) |
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自动标记和焦点功能(ASF) |
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自动灯丝饱和度调整(AFS) |
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自动光束对准(ABA) |
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自动启动(HV-ON→ABCC→AFC) |
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操作辅助功能 |
光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入(点对点测量、角度测量、文本)、预设放大、样品台位置导航功能(SEM MAP)、光束标记功能 |
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配件 |
■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器(UVD)、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 |
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配件(外部装置) |
能量散射X射线分析仪(EDS)、波长色散X射线分析仪(WDS)、 |